美国MEMS传感器专利申请量占全球MEMS传感器专利总申请量的55%;其次是中国、德国、韩国,专利申请量占比分别约为14%、6%、5%。
“审中”状态,专利总量约8500项,占全球MEMS传感器专利总量的70%。“有效”状态和“PCT制定期内”的MEMS传感器专利数量约为3340项、275项,分别占比28%,2%。